 |
MechMath
Механика и прикладная математика
|
Если Вы обнаружили
опечатку или неточность
на странице сайта,
выделите её и нажмите
Ctrl+Enter
Учебно-образовательная физико-математическая библиотека
Книга
Простомолотов А.И., Верезуб Н.А. Механика процессов получения кристаллических материалов. М.: НИТУ «МИСиС», 2023. (ISBN 9785907560574)
Скачать: djvu (7.06 M)
| Автор(ы): | Простомолотов А.И., Верезуб Н.А. |
| Название: | Механика процессов получения кристаллических материалов. |
| Издательство: | М.: НИТУ «МИСиС» |
| Год: | 2023 |
| ISBN: | 9785907560574 |
| Аннотация: | В монографии обобщены результаты математического и физического моделирования процессов механики при получении кристаллических материалов рядом технологически значимых промышленных технологий (выращивание технически ценных монокристаллов из расплава для микроэлектроники и из солевых растворов для фотоники, термическое прессование и кристаллизация из порошков для получения термоэлектрических материалов). Приводятся результаты исследования влияния основных управляющих воздействий на гидромеханику жидкой фазы (расплава и солевого раствора), включая управление вращением кристалла, тигля и различного рода мешалок, тепловой секционный нагрев стенок тигля, сложные конструкции кристаллизатора, применение магнитных полей и условия микрогравитации. Рассмотрены пути, обеспечивающие оптимизацию конструкций тепловых узлов и технологических параметров, управление процессами переноса тепла и массы в жидкой и твердой фазах, включая управление напряженным состоянием и процессами дефектообразования в твердой фазе. Рассматриваются программные комплексы для математического моделирования, в том числе с возможностью дистанционной работы. Монография предназначена для специалистов в области технологий получения кристаллических материалов, механики, теплофизики, а также аспирантов и студентов соответствующих специальностей. |
| Оглавление: | Сокращения.....14 Введение.....15 ГЛАВА 1. Гидромеханика расплава при МЧ-выращивании кристаллов.....26 1.1. Обзор подходов к математическому моделированию МЧ-выращивания кристаллов.....26 1.2. Математическая гидромеханическая МЧ-модель.....34 1.3. Гидромеханика вращающихся жидкостей и расплавов.....49 1.4. Воздействие течения на перенос легирующей (летучей)примеси в расплаве.....71 1.5. Явление образования холодных термиков в модельных жидкостях и расплавах.....78 ГЛАВА 2. Управляющие воздействия при МЧ-выращивании кристаллов.....94 2.1. Обзор применения различных управляющих воздействий.....94 2.2. Управляющие вибрации кристалла.....109 2.3. Управляющие изменения скоростей вращения кристалла/тигля и геометрии тигля.....132 2.4. Управление течением расплава с помощью вращения кристалла.....150 2.5. Управление течением с помощью позиционирования тигля.....165 2.6. Управление течением с помощью вращающегося магнитного поля.....170 ГЛАВА 3. Теплоперенос в установках для МЧ-выращивания кристаллов кремния.....179 3.1. Обзор сопряженных тепловых МЧ-моделей.....179 3.2. Формулировка сопряженной модели гидромеханики и теплопереноса для МЧ-процесса.....181 3.3. Особенности гидромеханики расплава в МЧ-тепловом узле.....188 3.4. Верификация температурных распределений в МЧ-тепловом узле.....199 3.5. Управление теплопереносом при выращивании монокристаллов кремния диаметром 100 и 125 мм.....202 3.6. Управление теплопереносом при выращивании монокристаллов кремния сверхбольшого диаметра.....219 3.7. Перспективные направления отечественных конструкторских и технологических разработок.....241 ГЛАВА 4. Дефектообразование и напряжения в МЧ-кремнии.....261 4.1. Обзор фундаментальных представлений о дефектообразовании в бездислокационном монокристаллическом кремнии и их технологическая апробация.....261 4.2. Формулировка моделей дефектообразования в бездислокационном монокристаллическом кремнии.....276 4.3. «Тепловые истории» выращивания МЧ-монокристаллов кремния.....291 4.4. Анализ распределений СТД и микродефектов в кристаллах кремния диаметром 150 мм.....300 4.5. Анализ распределений СТД и микродефектов в кристаллах кремния диаметром 200 мм.....312 4.6. Термонапряженное состояние в кристаллах кремния.....317 4.7. Напряжения и дефектообразование в пластинах кремния. Процесс RTA.....325 ГЛАВА 5. Гидромеханика расплава при МБ-выращивании кристаллов.....335 5.1. Обзор работ по МБ-выращиванию кристаллов.....335 5.2. Гидромеханика при выращивании монокристалловфторида кальция.....338 5.3. Физическое моделирование гидромеханики в МБ-модели.....348 5.4. Гидромеханика при кассетной МБ-кристаллизации теллурида висмута.....356 ГЛАВА 6. Гидромеханика и кристаллизация при микрогравитации.....370 6.1. Обзор работ по гидромеханике в условиях микрогравитации.....370 6.2. Верификация аналитических решений одномерной задачи о переносе примеси в расплаве при микрогравитации.....374 6.3. Сопряженное моделирование гидромеханики и кристаллизации для МБ-процесса в условиях микрогравитации.....391 6.4. Сопряженный теплоперенос в космической МБ-печи.....407 6.5. Теплоперенос при ампульном ЗП-выращивании кристаллов германия.....414 ГЛАВА 7. Гидромеханика при выращивании кристаллов из раствора.....432 7.1. Вводные замечания.....432 7.2. Математическое описание гидродинамических процессов в водно-солевых растворах.....441 7.3. Гидродинамика и массоперенос в проточных кристаллизаторах.....449 7.4. Гидродинамика и теплоперенос в непроточных кристаллизаторах.....459 7.5. Итоги и перспективы дальнейших исследований.....463 ГЛАВА 8. Механика пластичности и рекристаллизации в процессах экструзии.....466 8.1. Процесс горячей экструзии.....466 8.2. Процесс равноканального углового прессования.....483 ГЛАВА 9. Программное обеспечение для моделирования в механике получения кристаллических материалов.....498 9.1. Общий обзор разработок программных комплексов для технологической механики.....498 9.2. Программные комплексы ИПМех РАН для решения задач технологической механики.....504 Заключение.....517 Библиографический список.....518 |
|
Научно-образовательный сайт MechMath содержит обширную информацию по математике и механике. Адрес сайта в Интернете: http://mechmath.ipmnet.ru/ Веб-сайт MechMath разработан при поддержке Российского фонда фундаментальных исследований (грант № 09-01-00343). Адрес веб-сайта: 119526 Москва, пр-т Вернадского, д. 101, корп. 1, Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского РАН. © 2009–2024 А. Д. Полянин, А. И. Журов, А. Л. Левитин. |